Тонкоплівкова технологія при виготовленні ІМС



Кількість сторінок: 

12с.

Видавець: 

Місце видання: 

Дата: 

Мова: 

УДК: 

004.3 (07)

Бібліографічна картка: 

Тонкоплівкова технологія при виготовленні ІС [Електронний ресурс]: методичні вказівки до виконання лабораторних і практичних робіт з дисциплін «Нові технології виробництва електронно - обчислювальної апаратури» та «Напрямки дослідження і розвитку спеціалізованих комп’ютерних систем» для студентів спеціальності «Спеціалізовані комп’ютерні системи» освітньо - кваліфікаційних рівнів «спеціаліст» і «магістр» / уклад. В. М. Лукашенко, В. А. Ващенко, Г. В. Канашевич та ін.; М-во освіти і науки України, Черкас. держ. технол. ун-т. – Черкаси: ЧДТУ, 2008 – 12 с.

Анотація: 

Досліджується технологія виготовлення тонких металевих плівок на поверхні підложки термічним випаром в установках вакуумного напилення типу УВН-71. Вивчається типовий технологічний процес виробництва МДП-транзисторів та оформляється технологічна документація на маршрутний технологічний процес. Робота містить принцип розрахунку товщини плівки залежно від маси матеріалу, кута нахилу випарника, густини матеріалу і відстані від підложки до випарника.

Тип документу: 

Каталог: 

Ідентифікатор URL: 

http://elib.newlibrary.org.ua/e-books/125

ББК: 

32.97

Авторські права: 

НТБ ЧДТУ
  • Електронна версія матеріалу доступна для завантаження лише зареєстрованим користувачам Електронно-бібліотечної системи ЧДТУ.
  • Усі завантажувані матеріали захищені авторськими правами, усі права належать їх законним правовласникам.